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Panel FOUP
对应方形基板的FOUP
※FOUP = Front Opening Unified Pod
Panel FOUP
Panel FOUP

针对半导体封装 FO-PLP生产流程开发中。

以SEMI E181为标准的对应自动化制品。

 

根据SEMI标准的基板尺寸

・510x515

・600x600

也可以接受定制。


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